製品情報
AFM/SPM用ポリシリコンETALONプローブ HAシリーズ
製品詳細
概要
原子間力顕微鏡(AFM)、走査型プローブ顕微鏡(SPM)用のプローブです。
共振周波数・力定数の公差が抑えられているほか、チップ両端に異なる種類のカンチレバーがついており、1本で2種の測定に対応できます。
レーザーシグナル増強用に、カンチレバーの反射側に高反射のためのAuコーティングが施されています。
広範囲の用途にお使い頂けるように豊富なラインナップをご用意しています。
特長
・豊富な製品ラインナップ
・レーザーシグナル増強用のAu反射コーティングあり
・共振周波数・力定数のばらつきを抑制
・高アスペクト比ティップ
・1本のプローブに2種のカンチレバーが付属
・低価格
・15本セット、50本セット
仕様
■ 基本仕様
型名 | ティップ曲率半径, nm | 反射コート | 共振周波数, kHz | 力定数, N/m | ||||||
---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
Typical | 保証値 | min | typical | max | min | typical | max | |||
HA_C | A | < 10 | - | Au | 33 | 37 | 42 | 0.5 | 0.65 | 0.8 |
B | 16 | 19 | 22 | 0.2 | 0.26 | 0.32 | ||||
HA_CNC | A | < 10 | - | 41 | 46 | 51 | 0.8 | 1 | 1.2 | |
B | 59 | 66 | 55 | 1.2 | 1.5 | 1.8 | ||||
HA_FM | A | < 10 | - | 100 | 114 | 130 | 4.5 | 6 | 7.5 | |
B | 60 | 77 | 95 | 2.5 | 3.5 | 4.5 | ||||
HA_NC | A | < 10 | - | 210 | 235 | 260 | 9 | 12 | 15 | |
B | 125 | 140 | 155 | 2.5 | 3.5 | 4.5 | ||||
HA_HR | A | < 10 | - | 342 | 380 | 418 | 27 | 34 | 41 | |
B | 207 | 230 | 253 | 13 | 17 | 21 |
■ 導電性コーティング
型名 | 可能な導電性ティップコート | |||||
---|---|---|---|---|---|---|
Au | PtIr | Pt | TiN | W2C | ||
HA_C | 〇 | - | 〇 | - | 〇 | |
HA_CNC | - | - | 〇 | - | - | |
HA_FM | 〇 | - | 〇 | - | 〇 | |
HA_NC | 〇 | - | 〇 | - | 〇 | |
HA_HR | 〇 | - | 〇 | - | 〇 |
各資料
製品に関するご質問・御見積など、お気軽にお問い合わせください
03-6659-7541
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