sCMOSカメラ High Speedシリーズ Dhyana 9KTDI
製品詳細
分野
- 分析・検査
- 計測
- セキュリティ・監視
- イメージング
- バイオ・ライフサイエンス
- 装置開発
- その他
メーカー
Tucsen Photonics（中国）
sCMOSカメラ総代理店(大学・官公庁のみ)概要
Dhyana 9KTDIは、180nm から 1100nm までの幅広いスペクトル範囲をカバーし、高度な sCMOS 裏面照射型薄型化技術と TDI技術に基づく裏面照射型 TDI カメラです。
半導体ウェーハ欠陥検出、半導体材料欠陥検出、遺伝子配列決定などのアプリケーションに役立ちます。
■QE曲線
特長
・画素数 9072×256
・素子サイズ 5×5 μm
・幅広い波長範囲をカバー 180～ 1100nm
・高QE 82%＠550 nm
・高スループット 最大510kHz@8bit
■ 用途
・ウェーハ検査
・FPD検査
・蛍光測定
等
仕様
■ 仕様
Model Dhyana 9KTDI
QE 38 % @ 266 nm，51% @ 355 nm，82 % @ 550 nm，38 % @ 800 nm
Color / Mono Mono
Effective Area 45.36 mm x 1.28 mm
Resolution 9072 (H) x 256 (V)
Pixel Size 5 μm x 5 μm
TDI Stage 4, 8, 16, 32, 64, 128, 256
Data Bit Depth 12 bit, 10 bit, 8 bit
Full-Well capacity Typ 15.5 ke- @ 12 bit, 14 ke- @ 10 bit
Dynamic Range Typ 68.7 dB @ 12 bit, 63.6 dB @ 10 bit
Max. Line Rate 299 kHZ @ 12 bit, 345 kHZ @ 10 bit, 510 kHZ @ 8 bit
Cooling Method Air, Liquid, Cooling speed 5 ℃ / min
Max. Cooling 35 ℃ below ambient
Binning 1 x 1，2 x 1，4 x 1，8 x 1
Data Interface CoaxPress 2.0 (CXP-12)
各資料
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