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製品情報

sCMOSカメラ 軟X線・EUV対応シリーズ Dhyana XV

製品詳細

分野

  • 分析・検査
  • 計測
  • セキュリティ・監視
  • イメージング
  • 装置開発
  • その他

メーカー

Tucsen Photonics(中国)

sCMOSカメラ総代理店(大学・官公庁のみ)

概要

Dhyana XV は、軟 X 線および EUV 直接検出用に反射防止コーティングのないさまざまな裏面照射型センサーを使用する、完全真空の高速冷却 sCMOS カメラ シリーズです。
高真空シール設計と真空対応材料により、UHV アプリケーションに最適です。


■ QE曲線


特長

・最大画素数 : 6144×6144、4096×4096、2048×2048
・最大QE:約100%@80~1000 eV

・10-6 Pa真空対応
・高信頼性の真空設計


仕様

■ 主な仕様

ModelDhyana XV
Peak QE~100%
Spectral Range80~1000eV, 200~1100nm
Pixel Size6.5 x 6.5 μm/11 x 11 μm, 9 x 9 μm, 10 x 10 μm
Resolution2048x2048, 4096x4096, 6144x6144
Effective area13.3x 13.3 mm/22.5 x 22.5 mm, 36.9 x36.9 mm, 61.4 x 61.4 mm
ShutterRolling
Cooling MethodWater cooling
Cooling Temperature60°C Below Ambient Temperature (Max)
Vacuum Compatibility10⁻6 Pa (Max)
Flange SizeFeedthrough DN100CF/Customization
*仕様は、予告なく変更される場合があります。

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