sCMOSカメラ 軟X線・EUV対応シリーズ Dhyana XF
製品詳細
概要
Dhyana XFは、軟 X 線および EUV 直接検出用に反射防止コーティングのないさまざまな裏面照射型センサーを使用する、完全真空の高速冷却 sCMOS カメラ シリーズです。
高真空シール設計と真空対応材料により、 UHV アプリケーションに最適です。
特長
・最大画素数 : 6144×6144、4096×4096、2048×2048
・最大QE:約100%@80~1000 eV
・10-6 Pa真空対応
・高信頼性の真空設計
仕様
■ 主な仕様
Model Dhyana XF
Peak QE ~100%
Spectral Range 80~1000eV, 200~1100nm
Pixel Size 6.5 x 6.5 μm/11 x 11 μm, 9 x 9 μm, 10 x 10 μm
Resolution 2048x2048, 4096x4096, 6144x6144
Effective area 13.3x 13.3 mm/22.5 x 22.5 mm, 36.9 x36.9 mm, 61.4 x 61.4 mm
Shutter Rolling
Cooling Method Water cooling, Air cooling
Cooling Temperature 60°C Below Ambient Temperature (Max)
Vacuum Compatibility 10⁻7 Pa (Max)
Data Interface CameraLink/USB3.0, CoaxPress 2.0 for 6Kx6K
Flange Size DN100CF/DN160CF/Customization
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