高性能分光器　MSシリーズ

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分野

計測
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メーカー

SOL instruments GmbH（ドイツ）

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概要

MSシリーズ分光器は、ツェルニターナ型を採用した高スループット/高イメージングの高性能分光器です。非点収差と迷光を抑え、イメージング性能の良いモデルも取り揃えています。
必要な分解能により、焦点距離は20 cm、35 cm、52 cm、75 cmの4種類から選択可能です。グレーティングに関しては、最大4枚搭載・自動交換モデル、1枚搭載・ユーザー交換モデルの２モデルがあります。出射ポートは最大で2ポートまで拡張できます。
検出器はマルチチャンネル検出器や、PMTなどの単素子センサーも用途に応じて取付可能です。
ラマン分光などの微弱光測定や、プラズマ発光分光などの高波長分解能が必要な測定などに最適です。

■イメージング性能
・MS520Xイメージングモデルのイメージング性能

※MS5204iで取得したスペクトル画像。
　(回折格子1800l/mm、Hgランプ光源、マルチチャンネルファイバーバンドル、ファイバーコア径200 μm、CCDピクセルサイズ 24×24 μm)
※他のイメージングモデルの性能は、下記分光器カタログをご参照ください。

■光学スキーム


MS200x、入射1、出射2	MS350x、入射1、出射2	MS520x、入射1、出射2

■MS200xシリーズの装置構成


入射ポート側	出射ポート側

■M3500x、MS520xシリーズの装置構成


入射ポート側	出射ポート側

※ 他のモデルの装置構成は、下記分光器カタログをご参照ください。

特長

・焦点距離　20 cm、35 cm、52 cm、75 cmの4種類
・非点収差を抑えたイメージングモデルあり
・低迷光・高分散
・グレーティング最大4枚搭載・自動交換可能モデルあり
・出射ポート　最大2ポートに対応

仕様

■ 仕様：高性能分光器MSシリーズ

モデル名	MS200x	MS350x	MS520x	MS750x
光学設計	ツェルニターナ型　（イメージングモデル：非点収差補正あり）
ドライブ種類	worm		sine
入射ポート数	1
出射ポート数	1 　 ( オプション：2 )
搭載グレーティング枚数	1　または　4
測定可能波長範囲	185 nm – 60 μm
F 値 (@ 入射 )	3.6	3.8	5.4	8.9
焦点距離 (@ 出射 )	200 mm	350 mm	520 mm	750 mm
迷光 ^*1	3 x 10^-5	1 x 10^-5	1 x 10^-6	5.5 x 10^-7
焦点面	26 x 10 mm	28 x 10 mm
逆線分散 ^*2	4.12 nm / mm	2.37 nm / mm	1.55 nm / mm	1.02 nm / mm
波長分解能 ^*2
- PMT (@10 μm スリットサイズ )	0.11 nm	0.06 nm	0.028 nm	0.015 nm
- CCD 検出器 (@12 μm ピクセルサイズ )	0.12 nm	0.07 nm	0.034 nm	0.02 nm
エッシェルグレーティング対応	-	-	+	+
波長再現性 ^*2	± 0.036 nm	± 0.03 nm	± 0.007 nm	± 0.007 nm
波長精度 ^*2	± 0.07 nm	± 0.06 nm	± 0.034 nm	± 0.034 nm
平均スキャンステップ ^*2	0.012 nm	0.01 nm	0.0017 nm	0.0017 nm
水平倍率 ^*3	1.18	1.09	1.07	1.05
垂直倍率 ^*3	1.48	1.49	1.29	1.125
垂直方向分解能 ^{2 3}	< 40 μm	< 35 μm	< 20 μm	< 15 μm
インターフェース	Ethernet
寸法	300 x 200 x 160 mm	510 x 395 x 200 mm	635 x 339 x 270 mm	950 x 361 x 343 mm
重量	9 kg	19 kg	25 kg	45 kg