2次元温度・濃度計測システム　CT-TDLASシステム

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特長
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分野

計測
イメージング

メーカー

Smart Laser & Plasma Systems (日本)

総代理店

概要

燃焼場、反応場、流れ場に複数のレーザパスを挿入し、各パスからの吸収スペクトルに対して、画像再構成(CT：Computed Tomography)を適用することにより、2次元時系列温度・濃度同時計測を可能とする計測装置です。
エンジンやバーナーなどの燃焼器や化学反応器、半導体製造装置に適用可能であり、内部の2次元温度・濃度を時系列(時間分解能1 ms以下)で同時計測が可能となります。

■ 装置構成

特長

・燃焼場、反応場、流れ場の2次元時系列温度・濃度同時計測
・温度 : 300-2000K
・濃度 : 燃料、NH₃、CO₂ 等 ppm～％

仕様

■ 主な仕様

項目
方式		CT-TDLAS ：画像再校正(CT : Computed Tomography)-波長可変半導体レーザ吸収法
計測対象		バーナー、ボイラ、エンジン筒内、エンジン排ガス、タービンなどの燃焼器や化学反応器、半導体製造装置
計測項目		・温度： 300 ～ 2000 K ・濃度：燃料、NH3、CO2等 ppm ～ %
計測環境		・温度： 300 ～ 2000 K ・圧力： 1～5 MPa ・計測場大きさ：数10 mm ～数10 m
応答性		1 秒以下 (ミリ秒オーダー可能)
計測点		数百点以上 (同時計測)