製品情報
2軸ピエゾステージ
製品詳細
概要
PiezoConcept社製の2軸ピエゾステージは、シリコンセンサーを搭載し、顕微鏡用途等に幅広く対応できる超安定ピエゾステージです。
高速モデル、大開口(□128,5 mm x 86,5 mm)モデル、2軸チルトステージ等用途に合わせ各種モデルをご提供しています。
特長
・高分解能・高安定性
・クローズドループ制御
・pmレベルの低ノイズ
・シリコンセンサー技術
・超薄型(t20.5mm)、(□128,5 mm x 86,5 mm)付きモデル
・2軸チルトステージモデル
・マニュアルステージと組合せたハイブリッドモデル、サンプルホルダー有
■ 用途
・共焦点顕微鏡
・超解像顕微鏡
・ナノリソグラフィ
・光ピンセット
・AFM
・光軸調整 等
仕様
■ 仕様:2軸ステージ (XY軸)
モデル | 移動範囲 X-Y | 分解能X-Y | 共進周波数X/Y | サイズW×L×H | 開口部 | |
---|---|---|---|---|---|---|
(μm) | (nm) | (Hz) | (mm) | (mm) | ||
HS2 | 10 30 50 70 100 | 0.01 0.03 0.05 0.07 0.1 | 7000/5000 4000/3000 4000/3000 4000/3000 1500/1000 | 69.5 x 69.5 x 28.2 ~ 113.5 x 113.5 x 28.2 | - | |
LFHS2 | 30 50 75 | 0.03 0.05 0.075 | 3000/2000 | 120.8 x 120.7 x 28.5 | 66 x 66 | |
LTHS2 | 30 50 75 | 0.03 0.05 0.075 | 1500/1000 | 190 x 152.5 x 18.5 | 83 x 66 | |
C2 | 100 200 | 0.1 0.2 | 400/250 300/200 | 48.5 x 48.5 x 30.3 | - | |
LFS2 | 100 | 0.1 | 400/300 | 100 x 100 x 30.2 | 40 x 40 | |
LT2 | 100 200 300 | 0.1 0.2 0.3 | 500/400 | 155.5 x 152.5 x 15.5 | 66 x 66 | |
BIO2 | 100 200 300 | 0.1 0.2 0.3 | 500/400 400/350 300/250 | 206.5 x 152.5 x 15.6 | 54 x 83.6 | |
LF2 | 100 200 300 | 0.1 0.2 0.3 | 500/300 400/250 300/200 | 121 x 121 x 30.2 | 66 x 66 | |
MWP2.600 | 600 | 0.6 | 185/115 | 243.5 x 203 x 20 | 128.5 x 86.5 | |
TT2 | Θ,Φ:5mrad Θ,Φ:10mrad | 0.005 0.01 | 4000/2000 2200/1200 | 51 x 64.35 x 43.2 | - |
・コントローラー/アクセサリ
モデル | |||
---|---|---|---|
Controller | 2chコントローラ | アナログ制御 デジタル制御(オプション) |
|
HYBRID SYSTEMS | ストローク XY: 25mm | 対応モデル LT2, BIO2, LF2, LFHS2, LTHS2 |
|
sample holder | 開口付きステージ用 |
各資料
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03-6659-7541
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