ピエゾステージ

高分解能・高安定性に優れたシリコンセンサーを搭載したピエゾステージ
1軸：Ｚ〜500 (μm) 　|　Ｘ〜1500 (μm) 　|　Θ〜5、10ｍrad
クローズドループ制御　　|　対物レンズ装着型　|　ウェルプレート対応型

高分解能・高安定性に優れたシリコンセンサーを搭載したピエゾステージ
XYストローク：10×10 (μm) 〜 600×600 (μm) 　|　クローズドループ制御　
薄型モデル　|　大開口付きモデル　|　２軸チルトモデル

高分解能・高安定性に優れたシリコンセンサーを搭載したピエゾステージ
XYZストローク：30×30×５(μm) 〜 300×300×300 (μm)
クローズドループ制御　|　薄型モデル　|　大開口付きモデル