製品情報
高エネルギー広域波長可変レーザー NT340シリーズ
製品詳細
分野
- 分析・検査
- 計測
- センシング
- イメージング
- その他
メーカー
EKSPLA（リトアニア）
正規代理店概要
NT340シリーズは励起用のフラッシュランプ励起Q-スイッチナノ秒レーザーと光パラメトリック発振器（OPO）が1つの筐体にまとめられた、深紫外 ~ 中赤外の広範囲の波長域で高エネルギーの出力が可能な波長可変レーザーです。
1台で広範囲の波長域をカバーできますので各種分光測定に有効なレーザーです。
■パフォーマンス
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| NT340シリーズのOPO出力パルスエネルギー（typical） | NT340シリーズのSH/SF出力パルスエネルギー（typical） |
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| NT340シリーズのSH/DUV出力パルスエネルギー（typical） | NT340シリーズのMIR出力パルスエネルギー（typical） |
特長
・波長可変域：192 – 4400 nm
・出力パルスエネルギー：90 mJ @ VIS
・線幅：< 5 cm-1
・パルス幅：< 7 ns
・繰り返し周波数：10 Hz or 20 Hz
・制御：PC or キーパッド
仕様
■ NT340シリーズ仕様
| 主な仕様 1) | NT342B | NT342C | NT342E | |
|---|---|---|---|---|
| OPO | ||||
| 波長範囲 2) | Signal | 410 - 710 nm 3) | ||
| Idler | 710 - 2600 nm | |||
| SH | 210 - 420 nm | |||
| SH / SF | 210 - 420 nm | |||
| DUV | 192 - 210 nm | |||
| MIR | 2500 - 4400 nm | |||
| パルスエネルギー | OPO 4) | 30 mJ | 60 mJ | 90 mJ |
| SH 5) | 4 mJ | 6.5 mJ | 10 mJ | |
| SH / SF 6) | 6 mJ | 10 mJ | 15 mJ | |
| DUV 7) | 0.6 mJ | 1.2 mJ | 2 mJ | |
| MIR 8) | - | 20 mJ | - | |
| 線幅 | < 5 cm-1 9) | |||
| 波長調整分解能 10) | Signal（410 - 710 nm） | 1 cm-1 | ||
| Idler（710 - 2600 nm） | 1 cm-1 | |||
| SH / SF / DUV（192 - 410 nm） | 2 cm-1 | |||
| MIR（2500 - 4400 nm） | - | 1 cm-1 | - | |
| パルス幅 11) | 3 - 5 ns | |||
| ビーム径（typical）12) | 5 mm | 8 mm | 10 mm | |
| ビーム広がり角（typical）13) | < 2 mrad | |||
| 偏光 | Signal | 水平 | ||
| Idler | 垂直 | |||
| SH / SF | 水平 | |||
| DUV | 垂直 | |||
| MIR | 水平 | |||
| 励起レーザー 14) | ||||
| 励起波長 | 355 nm | |||
| 励起パルスエネルギー（typical） | 100 mJ | 150 mJ | 250 mJ | |
| パルス幅 | 4 - 7 ns | |||
| ビームパターン | ハットトップ @ near field（ホットスポット無） | |||
| ビーム広がり角（typical） | < 0.6 mrad | |||
| パルスエネルギー安定性（標準偏差） | < 3.5 % | |||
| 繰り返し周波数 | 10 or 20 Hz | 10 Hz | ||
| 物理的特性 | ||||
| ユニットサイズ（幅 x 長さ x 高さ）15) | 456 x 821 x 270 mm | |||
| 電源サイズ（幅 x 長さ x 高さ） | 300 x 490 x 585 mm | |||
| アンビリカルケーブル | 2.5 m | |||
| 使用要求 | ||||
| 外部冷却水 16) | < 10 L / 分（ 20 ℃以下 ） | |||
| 室温 | 18 - 27 ℃ | |||
| 相対湿度 | 20 -80 %（結露しないこと） | |||
| 電源 | 200 - 240 VAC、単相、50 / 60 Hz | |||
| 消費電力 | < 1.5 kW | |||
| クリーンルームクラス | クラス9以上 | |||
*2 ： 波長調整可能範囲は192 – 4400 nmです。MIRオプションはSF、DUVオプションと両立できません。18μmまでのカスタムオプションについてはお問い合わせください。
*3 ：400 – 709 nmへの波長範囲の拡張はオプションです。
*4 ： 450nmでの測定値です。他の波長での出力値（typical）はチューニングカーブをご参照ください。
*5 ： 260nmでの測定値です。他の波長での出力値（typical）はチューニングカーブをご参照ください。
*6 ：340nmでの測定値です。SFオプションは300-410nmの範囲で最大出力となるように調整されています。他の波長での出力値（typical）はチューニングカーブをご参照ください。
*7 ： 200nmでの測定値です。他の波長での出力値（typical）はチューニングカーブをご参照ください。
*8 ： 2700nmでの測定値です。他の波長での出力値（typical）はチューニングカーブをご参照ください。
*9 ： 210 – 409nm, 2500 – 4400nmの範囲の線幅は8cm-1です。
*10 ：PCから手動入力する場合。キーパッドから波長を制御する場合の波長調整分解能はSignalでは0.1nmです、Idler、MIRでは1nm、SH、SF、DUVでは0.05nmです。
*11 ：立ち上がり1nsのフォトディテクターと帯域周波数300MHzのオシロスコープを使って測定したFWHMです。
*12 ：波長450nm、FWHMレベルで測定した値です。ほぼ正確ですが、励起パルスエネルギーと波長に依存して変化します。
*13 ：波長450nm、FWHMでの全角の値です。MIRオプション、波長3000nmでは<5mradです。
*14 ：355nm用の波長分離出力ポートは標準です。1064nm、532nmの波長分離出力ポートはオプションです。レーザーの出力はベストなOPO運転に合わせて最適化されています。仕様は製造するユニットごとによって異なります。
*15 ：長さは構成によって821mmから1220mmです。
*16 ：空冷はオプションで可能です。
各資料
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03-6659-7541
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