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製品情報

μJクラス小型産業用フェムト秒レーザー FemtoLux 3

製品詳細

分野

  • レーザー加工
  • イメージング
  • バイオ・ライフサイエンス
  • 装置開発
  • その他

メーカー

EKSPLA(リトアニア)

正規代理店

概要

FemtoLux 3R&Dや産業用途に最適化された最新フェムト秒レーザーです。
パルス幅は可変で300 fs ~ 5 ps、繰り返し周波数は最大10 MHzまで調整可能です。
エネルギーは最大3 μJ @ 1030nmで、内蔵のアッテネーターにより調整も可能なため、
用途に合わせて最適化することも可能です。
透明な材料のマーキングやストラクチャリング、非線形顕微鏡などに最適なレーザーです。


■ パフォーマンス

繰り返し周波数と出力平均、出力エネルギーの関係(typical)
1030 nm

繰り返し周波数と出力平均、出力エネルギーの関係(typical)
@ 515 nm
パルス幅(typical)
@ 3 μ
J, 1030 nm

パルス幅(typical)
@ 3 μ
J, 1030 nm

パルスピッカーによる発振周波数の調整と平均出力、出力エネルギーの関係(typical)
(レーザー:繰り返し周波数1MHz1030nm)

平均出力と周囲温度(室温)の関係(typical)
@ 1030 nm

長時間平均出力安定性
@ 1030 nm


特長

・パルス幅 : 300 fs ~ 5 ps(可変)
・最大平均出力 : 3 W@1030 nm  (2 W@515 nm:オプション)
・最大出力エネルギー : 3 μJ@1030 nm  (1.2 μJ@515 nm:オプション)
・優れたビームクオリティ M2 < 1.2
・最大繰り返し周波数 : 10 MHz
・受動空冷
・24時間連続運転可能


仕様

■ 仕様:FemtoLux3

主な仕様1)FemtoLux 3
中心波長基本波1030 nm
2倍波 515 nm
最短パルス幅@1030nm< 300 fs (typical ~230 fs)
パルス幅調整可能範囲 (FWHM)300 fs - 5 ps
最大平均出力 2) @1030nm> 3 W
@515nm> 1.2 W
長時間出力安定性 (標準偏差) 3) ≤ 0.5 %
最大パルスエネルギー@1030nm> 3 μJ
@515nm> 1.2 μJ
パルスエネルギー安定性 (標準偏差) 4) < 2 %
繰り返し周波数 (PRRL) 範囲 5) 1 MHz - 10 MHz
繰り返し周波数 (PRF)(パルスピッカー後)PPR = PPRL / N, ((N = 1, 2, 3, …), min 10 kHz
外部パルスゲート信号TTL
バーストモード 6) 1 - 10 パルス
最大バーストエネルギー@1030nm> 10 μJ
@515nm> 5 μJ
バースト形状制御アナログ信号入力
出力調整0 - 100 %
(付属制御用アプリケーション or アナログ信号)
偏光直線、垂直
偏光消光比> 1000 : 1
M2< 1.2
ビーム広がり角 (全角)< 1.0 mrad
ビーム真円性 (far field)> 0.85
ビーム位置安定性 (peak to peak)) 7) < 30 μrad 7)
ビーム系 (出射口から20cm)@1030nm2.0 ± 0.3 mm
@515nm1.0 ± 0.2 mm
使用環境
電源100 - 240 VAC, 単相 47 - 63 Hz
最大消費電力< 500 W
使用環境温度 (室温)15 - 30 OC
相対湿度10 - 80 % (結露しないこと)
クリーンルームクラスISO クラス9 以上
物理的特性
レーザーヘッドの冷却方法受動空冷
レーザーヘッドサイズ
(長さ x 幅 x 高さ)
@1030nm ± 2 nm 464 x 363 x 129 mm
@515nm ± 1 nm 620 x 363 x 129 mm
電源サイズ (長さ x 幅 x 高さ)449 x 436 x 140 mm (単独タイプ)
483 x 436 x 140 (19インチラックタイプ)
レーザーヘッド - 電源の接続ケーブル長5 m
レーザークラス特性 (EN60825-1、欧州安全規格)CLASS 4
1): 継続的な改善のため、すべての仕様は予告なく変更される場合があります。
 「typical」と記載されたパラメータは仕様ではありません。
2): 平均パワーやエネルギーと周波数の関係は上記の各グラフをご参照ください。
3): 繰り返し周波数1MHz、一定の環境下、ウォームアップ後、24時間での場合。
4): 繰り返し周波数1MHz、一定の環境下での場合。
5): パルスピッカーがすべてのパルスを通過するように設定されている場合。
6): バースト内のパルス間隔は約20nsです。
7): ビーム位置安定性は集光素子を使用した集光面でのビーム中心の動きでの評価です。


各資料

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