製品情報
高エネルギーランプ励起Q-スイッチナノ秒Nd:YAGレーザー NL300シリーズ
製品詳細
分野
- 分析・検査
- 計測
- レーザー加工
- センシング
- プラズマ
- その他
メーカー
EKSPLA（リトアニア）
正規代理店概要
NL300シリーズは、コンパクトでありながら最大1100 mJ@1064nmの高エネルギーが得られるフラッシュランプ励起 Q-スイッチNd:YAGレーザーです。フラッシュランプは共振器からチャンバーを取り外すことなく交換が可能なため、ミスアライメントが発生しない設計となっております。
オプションには第五高調波発振が可能な豊富な高調波発振モジュールがあり、またパルス幅などのパラメーターを変えることなく出力エネルギーを調整できるアッテネーターを取り付けることも可能です。アブレーション、LIBS、LIDARなど様々なアプリケーションに最適なレーザーです。
特長
・最大パルスエネルギー：1100 mJ @ 1064 nm
・繰り返し周波数：5 – 20 Hz
・パルス幅：3 – 6 ns
・高調波発生（オプション：第二、第三、第四、第五高調波）
仕様
■ NT300仕様
| 主な仕様 1) | NL303HT | NL305HT | |||
|---|---|---|---|---|---|
| 繰り返し周波数 | 10 Hz | 20 Hz | 10 Hz | 5 Hz | |
| パルスエネルギー | @ 1064 nm | 750 mJ | 700 mJ | 1000 mJ | 1100 mJ |
| @ 532 nm 2) | 380 mJ | 320 mJ | 500 mJ | 700 mJ | |
| @ 355 nm 3) | 250 mJ | 210 mJ | 320 mJ | 450 mJ | |
| @ 266 nm 4) | 80 mJ | 60 mJ | 100 mJ | 120 mJ | |
| @ 213 nm 5) | 13 mJ | 10 mJ | 20 mJ | 25 mJ | |
| パルスエネルギー安定性（標準偏差）6) | @ 1064 nm | 1 % | |||
| @ 532 nm | 1.5 % | ||||
| @ 355 nm | 3 % | ||||
| @ 266 nm | 3.5 % | ||||
| @ 213 nm | 6 % | ||||
| パワードリフト 7) | ± 2 % | ||||
| パルス幅 8) | 3 - 6 ns | ||||
| 偏光 | 垂直、90 % 以上 | 垂直、65 % 以上 | 垂直、90 % 以上 | ||
| ジッター 9) | < 0.5 ns（標本標準偏差） | ||||
| 線幅 | 1 cm-1 | ||||
| ビームプロファイル 10) | ハットトップ（near field）/ ガウシアン（far field） | ||||
| ビーム径 11) | ~ 8 mm | ~ 10 mm | |||
| ビーム広がり角 12) | < 0.6 mrad | ||||
| ビーム位置安定性 13) | 50 μrad RMS | ||||
| ビームの高さ | 68 mm | ||||
| 物理的特性 | |||||
| レーザーヘッドサイズ（幅 x 長さ x 高さ）14) | 154 x 475 x 128 mm | ||||
| 電源サイズ | 330 x 490 x 585 mm | ||||
| アンビリカルケーブル | 2.5 m | ||||
| 使用要求 | |||||
| 外部冷却水（20℃以下）15) | < 8 L / 分 | < 12 L / 分 | < 10 L / 分 | < 6 L / 分 | |
| 周囲温度（室温） | 15 - 30 ℃ | ||||
| 相対湿度 | 20 - 80 %（結露しないこと） | ||||
| 電源 16) 17) | 208 - 240 VAC、単相、50 / 60 Hz | ||||
| 消費電力 18) | < 1 kVA | < 1.5 kVA | < 1.5 kVA | < 1 kVA | |
| クリーンルームクラス | ISO クラス 9 | ||||
*2 ： オプションのH300SH、H300S、H300SHCを使用した場合。詳細情報は下記をご参照ください。
*3 ： オプションのH300THCを使用した場合。詳細情報は下記をご参照ください。
*4 ： オプションのH300SH、H300FHCを使用した場合。詳細情報は下記をご参照ください。
*5 ： オプションのH300FiHCを使用した場合。詳細情報は下記をご参照ください。
*6 ： 30秒間発振のパルスからの平均化です。
*7 ： 周囲温度の変化が±2℃以内、湿度変化が±5%以内で、20分のウォームアップ後8時間測定。
*8 ： FWHM。
*9 ： SYNC OUT信号について。
*10 ：near field（出射口後）でトップハットフィット、70%以上。
*11 ： 波長1064nm、1/e2の位置で測定した値です。
*12：波長1064nm、1/e2の位置で測定した全角の値です。
*13：集光素子を使用して集光面でのビームの中心位置の動きで評価。
*14：高調波発振器のサイズについては下記をご参照ください。
*15：水-水冷却の場合。水-空気冷却の場合は必要ありません。
*16：電源の使用はご注文時にご指定下さい。
*17：110VACも可能です。詳細はお問い合わせください。
*18：必要な定格電流値は電力値を電圧値で割ることによって計算したものです。
各資料
製品に関するご質問・御見積など、お気軽にお問い合わせください
03-6659-7541
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