シングルモード高エネルギーQ-スイッチナノ秒Nd:YAGレーザー ANL SLMシリーズ
製品詳細
分野
- 分析・検査
- 計測
- レーザー加工
- センシング
- プラズマ
- その他
メーカー
EKSPLA（リトアニア）
正規代理店概要
ANL SLMシリーズは、狭線幅の外部LDシード光源や共振器ロックのピエゾ素子などを使用しない、LD励起セルフシード光源をマスターオシレーターに採用したシングルモード高エネルギーQ-スイッチNd:YAGレーザーです。
標準のパルス幅は2 ns、オプションにより2 – 25 nsの範囲で変更可能です。材料加工、OPCPAやTi:sapphireの励起、光学部品のテストなどのアプリケーションに最適です。
■ パフォーマンス
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| ANL SLMシリーズの時間的パルス波形 @ 1064 nm (typical) | 高エネルギーANLシリーズの長時間エネルギー安定性 (typical) |
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| ANL SLMシリーズのビームプロファイル@ 1064 nm、出射口から50 cm (typical) | ANL SLMシリーズのビームプロファイル@ 532 nm、出射口から30 cm (typical) |
特長
・最大パルスエネルギー：10000 mJ @ 1064 nm
・パルス幅：5 ns（標準）、10 – 20 ns（オプション）
・繰り返し周波数：10 Hz
・M2値：~ 5 / 20 – 90（オプション）
・高調波発生（オプション：第二、第三、第四）
仕様
■ ANL SLMシリーズ仕様
主な仕様 1) ANL2k10-SLM ANL5k10-SLM ANL10k10-SLM
出力エネルギー @ 1064 nm 2000 mJ 5000 mJ 10000 mJ
@ 532 nm 2) 3) 1000 mJ 2500 mJ 5000 mJ
@ 355 nm 2) 450 mJ 1300 mJ 2500 mJ
@ 266 nm 2) 140 mJ 750 mJ 1500 mJ
繰り返し周波数 10 Hz
パルス幅 4) 2 ± 0.5 ns
パルスエネルギー安定性 5) @ 1064 nm ≤ 1 %
@ 532 nm ≤ 2 %
@ 355 nm ≤ 3 %
@ 266 nm ≤ 4 %
長時間パワードリフト 6) ± 2 %
ビーム空間プロファイル 7) スーパーガウシアン
M2 8) 4.4 6.6 9.2
ビーム径 9) ~ 12 mm ~ 18 mm ~ 25 mm
ビーム位置安定性 10) ≤ 25 μrad
ビーム広がり角 ≤ 0.5 mrad
ジッター 11) ≤ 0.2 ns
線幅 ≤ 0.01 cm-1 (SLM)
偏光 直線、> 90 %
物理的特性 12)
レーザーヘッドサイズ
（幅 x 長さ x 高さ：mm）455 x 1220 x 270 600 x 1500 x 300 600 x 2000 x 300
電源サイズ（幅 x 長さ x 高さ：mm） 550 x 600 x 1030 550 x 600 x 1030 - 2ユニット 550 x 600 x 1650 - 2ユニット
アンビリカルケーブル 13) 5 m
使用要求 14)
電源 15) 208, 380, 400 VAC、三相、50 / 60 Hz
消費電力 16) ≤ 5 kVA ≤ 6 kVA ≤ 8 kVA
外部冷却水 16) 5 L / 分、2 Bar、15 ℃以下 7 L / 分、2 Bar、15 ℃以下 10 L / 分、2 Bar、15 ℃以下
周囲温度（室温） 22 ± 2 ℃
保管温度 15 -35 ℃
相対湿度（結露しないこと） ≤ 80 %
クリーンルームクラス ISO クラス 7 以上
*2：高調波出力はオプションです。仕様値はご購入頂いた各高調波ユニットに対して有効です。また同時の出力はできません。
*3：第二高調波は変換効率を70%にあげられるLBO結晶に交換することが可能です。もしTH/FHオプションもご購入される場合、第二高調波の変換効率は50%減少します。
*4：標準のパルス幅は2nsです。それ以外のパルス幅は2 – 25 nsの間でご注文可能です。出力エネルギーはパルス幅に依存するので変わる可能性がございます。
*5：安定した環境下で平均出力エネルギーを正規化した値（RMS、60秒の平均化）。
*6：周囲環境の温度変化が±2℃以内で30分のウォームアップ後8時間測定した値。
*7：near-fieldで6-11次のスーパーガウシアン空間モード
*8：M2はビームパラメータを使って算出された値です。実際に測定された値は異なるかもしれません。
*9：FWHMの位置で測定。
*10：集光素子を使用して集光面でのビームの中心位置の動きで評価（RMS、60秒の平均化）。
*11：電気的出力信号（TRIG OUT：3.5V @ 50 Ω）に対しての光パルスのジッター。
*12：システムサイズは仮のもので、お客様のレイアウトやオプションに依存します。
*13：ご要望により最長10mまで可能です。
*14：詳細はメーカーのカタログをご参照ください。
*15：電圧の変動の許容範囲は通常の値から-15% ~ +10%以内です。
*16：消費電力と外部冷却水はシステムの構成によって値が変わります。
各資料
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