製品情報
高出力産業用フェムト秒レーザー FemtoLux 30
製品詳細
概要
FemtoLux 30は革新的な直接冷媒方式を採用し、冷却水不要の完全空冷式のレーザーです。冷却水不要によりメンテナンスの手間がかからず、また小型化・軽量化も達成し、省スペースで設置が可能です。
ディスプレイや電子機器・電子部品の製造、ガラス、サファイア、セラミックなどの脆性材料の微細加工・マーキングおよび様々な金属やポリマーの最高品質の微罪加工用に最適です。
■ パフォーマンス
特長
・平均出力:30W @ 1030 nm 、(11 W @ 515 nm:オプション)
・最大出力エネルギー:90 μJ @ 1030 nm (50 μJ @ 515nm:オプション)
・MHz、GHzバーストモード
・250 μJ/バースト
・パルス幅(可変):350 fs ~ 1 ps
・繰り返し周波数:シングルショット ~ 4 MHz
・乾式冷却
■ 主な用途
・LCD、LED、OLEDの穴あけ、切断、リペア
・電子機器・電子部品製造
・様々なポリマー類 ・金属類の微細加工
・ガラス、サファイア、セラミックの微細加工
仕様
■ 仕様:FemtoLux30
主な仕様 1) | FemtoLux 30 | |
---|---|---|
中心波長 | 基本波 | 1030 nm |
2倍波 | 515 nm | |
繰り返し周波数 (PRR)範囲 2) | 200 kHz - 4 MHz | |
繰り返し周波数 (PRF)(分周器後) | PRF = PRR / N, (N = 1, 2, 3, …, 65000); single shot | |
平均出力 | @1030nm | > 27 W (typical:30 W) |
@515nm | > 11 W 3) | |
パルスエネルギー | @1030nm | > 90 μJ |
@515nm | > 50 μJ 3) | |
MHz / GHzバーストモードの総エネルギー | > 250 μJ | |
長時間出力安定性 (標準偏差) 4) | < 0.5 % | |
パルスエネルギー安定性 (標準偏差) 5) | < 1 % | |
パルス幅 (FWHM) | 350 fs 6) - 1 ps(可変) | |
ビームクオリティ | M2 < 1.2 (typical < 1.1) | |
ビーム真円性 (far field) | > 0.85 | |
ビーム広がり角 (全角) | < 1 mrad | |
ビーム位置熱安定性 | < 20 μrad / ℃ | |
ビーム系 (出射口から20cm)@ 1030 nm | 2.5 ± 0.4 mm | |
トリガーモード | 内部 / 外部 | |
パルス出力制御 | 分周期、パルスピッカー、バーストモード、 パケットトリガ、アッテネーター |
|
制御インターフェイス | RS232 / LAN | |
物理的特性 | ||
レーザーヘッドの冷却方法 | 乾式冷却 (取り外し可能な冷却プレートを使用) | |
レーザーヘッドサイズ(幅 x 長さ x 高さ) | 429 x 569 x 130 | |
電源サイズ (幅 x 長さ x 高さ) | 449 x 376 x 177 mm | |
アンビリカルケーブル | 3m (取り外し可能) | |
動作環境 | ||
電源 | 100 - 240 VAC、単相、 50 / 60 Hz | |
使用環境温度 | 18 - 27 ℃ | |
相対湿度 | 10 - 80 % (結露しないこと) | |
クリーンルームクラス | ISO クラス9 以上 |
「typical」とマークされたパラメータは仕様ではありません。
2): 分周器をすべてのパルスを通るように設定した場合。搭載されたAOMで完全制御。
3): 繰り返し周波数200kHzの場合。
4): 一定の環境下でウォームアップ後、100時間以上で測定。
5): 一定の環境下で測定。
6): PRR>500kHzの場合。PRP<500kHzの場合、最短パルス幅は<400fs。
■ GHzバーストオプション
パラメーター | 値 | ||
---|---|---|---|
バースト繰り返し周波数 | 200 - 650 (kHz) | ||
バースト内部の繰り返し周波数 1) | 2 GHz | ||
GHzバーストモード | ショート | ロング | |
パルス数 2) | 2 - 22 | 44 - 100 | |
形状 | square, riseing, falling | falling, pre-shaped 3) |
2): バース内繰り返し周波数に依存します。
3): 詳細については、メーカー問い合わせ。
各資料
製品に関するご質問・御見積など、お気軽にお問い合わせください
03-6659-7541
関連製品
- この製品を検討
リストに追加する - この製品について
お問い合わせする