高出力産業用フェムト秒レーザー　FemtoLux 30/50

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特長
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分野

レーザー加工
装置開発

メーカー

EKSPLA（リトアニア）

正規代理店

概要

FemtoLux 30/50は革新的な直接冷媒方式を採用し、冷却水不要の完全空冷式のレーザーです。冷却水不要によりメンテナンスの手間がかからず、また小型化・軽量化も達成し、省スペースで設置が可能です。

ディスプレイや電子機器・電子部品の製造、ガラス、サファイア、セラミックなどの脆性材料の微細加工・マーキングおよび様々な金属やポリマーの最高品質の微罪加工用に最適です。

■ パフォーマンス
・FemtoLux30


繰り返し周波数と出力平均出力、出力エネルギーの関係(typical) ＠ 1030 nm」	繰り返し周波数と出力平均出力、出力エネルギーの関係(typical) @ 515 nm	繰り返し周波数と出力平均出力、出力エネルギーの関係(typical) @ 343 nm


パルス幅(typical) @ 1030 nm	M²@1030 nm

< 安定性 >


パルスエネルギー安定性(typical)	長時間平均出力安定性 @1030 nm	長時間平均出力安定性(typical) @1030 nm


ビーム方向安定性(typical)	平均出力と周囲温度(室温)の関係 @ 1030 nm

・FemtoLu50


繰り返し周波数と出力平均出力、出力エネルギーの関係(typical) ＠ 1030 nm」	パルス幅(typical) @ 1030 nm


M²@1030 nm	長時間平均出力安定性(typical) @1030 nm

特長

・平均出力：30W @ 1030 nm 、（11 W @ 515 nm：オプション）
・最大出力エネルギー：90 μJ @ 1030 nm （50 μJ @ 515nm：オプション）
・MHz、GHzバーストモード
・250 μJ/バースト
・パルス幅（可変）：350 fs ～ 1 ps
・繰り返し周波数：シングルショット～ 4 MHz
・乾式冷却

■ 主な用途
・LCD、LED、OLEDの穴あけ、切断、リペア
・電子機器・電子部品製造
・様々なポリマー類・金属類の微細加工
・ガラス、サファイア、セラミックの微細加工

仕様

■ 仕様：FemtoLux30/50

主な仕様 ¹⁾		FemtoLux 30	FemtoLux 50
中心波長	基本波	1030 nm
	２倍波	515 nm
	３倍波	343 nm
繰り返し周波数 (PRR)範囲 ²⁾		200 kHz - 4 MHz	100 kHz - 2 MHz
繰り返し周波数 (PRF)(分周器後)		PRF = PRR / N, (N = 1, 2, 3, …, 65000); single shot
平均出力	＠1030nm ³⁾	> 27 W (typical：30 W)	> 45 W (typical：50 W)
	＠515nm	> 11 W ⁴⁾	> 20 W ⁵⁾
	＠343nm	> 6 W ⁴⁾	> 10 W ⁵⁾
パルスエネルギー	＠1030nm	> 100 μJ or 1 mJ ⁶⁾	> 300 μJ ⁷⁾
	＠515nm	> 55 μJ ⁴⁾	> 50 μJ ⁵⁾
	＠343nm	> 30 μJ ⁴⁾	> 25 μJ ⁵⁾
MHzバースト時のパルス数 ⁸⁾		2 - 10
バーストモード時の最大エネルギー ⁹⁾		> 450 μJ	> 750 μJ
長時間出力安定性 (標準偏差) ¹⁰⁾		< 0.5 %
パルスエネルギー安定性 (標準偏差) ¹¹⁾		< 1 %
パルス幅 (FWHM)		350 fs ¹²⁾ - 1 ps ¹³⁾ 　可変	400 fs ¹²⁾ - 1 ps ¹³⁾ 　可変
パルス幅拡張オプション		最大1 ns　可変
ビームクオリティ		M² < 1.2 (typical < 1.1)
ビーム真円性 (far field)		> 0.85
ビーム広がり角 (全角)		< 1 mrad
ビーム位置温度安定性		< 20 μrad / ℃
ビーム径(1/e²) @1030 nm		2.5 ± 0.4 mm @ 65 cm
偏光		Vertical
トリガーモード		内部 / 外部
パルス出力制御		分周期、パルスピッカー、バーストモード、パケットトリガー、
パルス出力制御		出力アッテネーター、パルスオンデマンド ¹⁴⁾
制御インターフェイス		RS232 / LAN
アンビリカルケーブル長さ		3m (取り外し可能)、特注長さオプション可
レーザーヘッドの冷却方法		乾式冷却 (取り外し可能な冷却プレートを使用した直接冷媒冷却)
物理的特性
レーザーヘッドサイズ(幅 x 長さ x 高さ)		434 x 569 x 150 mm
電源サイズ (幅 x 長さ x 高さ)		449 x 496 x 184 mm
動作環境
電源		100 - 240 VAC、単相、 50 / 60 Hz
最大定格電力		800 W
使用環境温度		18 - 27 ℃
相対湿度		10 - 80 % (結露しないこと)
クリーンルームクラス		ISO クラス9 以上

1) 継続的な改善のため、すべての仕様は予告なく変更される場合があります。
　「typical」と記載したパラメータは仕様値ではありません。全ての仕様値は最短パルス幅での値です。
2) 分周器をすべてのパルスを通るように設定した場合。搭載されたAOMで完全制御。
3) 繰り返し周波数1MHz時。　4) 繰り返し周波数 200kHz時。　5) 繰り返し周波数 400kHz時。
6) 他の出力エネルギーと繰り返し周波数の組み合わせも可能です。　7) 繰り返し周波数 100kHz時。
8) オシレータ繰り返し周波数ー50MHz, パルス間隔は20ns。
9) MHzバーストまたはMHz+GHz、50kHz繰り返し周波数時。
10) 一定環境下で100時間ウォームアップ後。 11) 一定環境下
12) 繰り返し周波数＞500kHz時。PRP<500kHz時、最短パルス幅は<400fs。
13) 特注パルス幅可。例えば、固定パルス幅50fs。
14) オプションとしてジッター <20ns、トリガ-パルス遅延＜1μs。

■ GHzバーストオプション

パラメーター	値
バースト繰り返し周波数	最大 650 kHz
バースト内部の繰り返し周波数 ¹⁾	2 GHz
GHzバーストモード	ショート	ロング
GHzバースト長	0.5 - 10 ns	20 -500 ns
パルス数 ²⁾	2 - 20	40 - 1000
形状	square, rising, falling	falling, pre-shaped 3)
MHz + GHzバーストモード
MHzバーストのパルス数	2 - 10
GHzバーストのパルス数	2 - 20

1) 特注内部パルス繰り返し周波数可
2) 内部パルス繰り返し周波数に依存
3) 詳細はお問い合わせください

・Short GHz burst


Measured 2.2 GHz intra-burst PRR burst of pulses containing a different number of pulses of equal amplitudes at 31.5 W average output power.

・Long GHz burst


easured 2.2 GHz pre-shaped bursts of 1000 pulses at 233 kHz burst repetition rate for the desired rectangular-like burst shape.	Measured 2.2 GHz non-pre-shaped bursts of 1100 pulses at 233 kHz burst repetition rate.

・MHz + GHz burst mode


Measured 4 bursts of 50 MHz BRR containing 4 pulses of 2.5 GHz intra-burst PRR.	Measured 10 bursts of 50 MHz BRR containing 10 pulses of 2.5 GHz intra-burst PRR.