UVFSレーザーラインミラー

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EKSMA Optics（リトアニア）

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概要

UV溶融石英(UVFS)に多層誘電体コーティングしたレーザーラインミラーです。指定のレーザー波長に最適化されており、波長244～1064nmまでで14種類の製品ラインナップをご用意しています。
ミラー材質の高い表面品質により、低波面歪み、低散乱、高ダメージ閾値を誇ります。

特長

・高反射率　> 99％
・波長範囲　244～1064nm
・14種類の製品ラインナップ
・低波面歪み、低散乱、高ダメージ閾値

仕様

■ ラインナップ

型名	反射率, % (S+P)/2	AOI	対応波長	アプリケーション
UVFS ; ø12.7x3 mm
041-0240	99.0	45°	244-248 nm	KrF
041-0240-i0	99.0	0°	244-248 nm	KrF
041-0260	99.0	45°	262-266 nm	Nd:YAG 4H
041-0260-i0	99.0	0°	262-266 nm	Nd:YAG 4H
041-0266	99.0	45°	257-275 nm	Ti:Sa 3H
041-0266-i0	99.0	0°	257-275 nm	Ti:Sa 3H
041-0300	99.2	45°	308 nm	XeCl
041-0300-i0	99.2	0°	308 nm	XeCl
041-0325	99.5	45°	325 nm	HeCd
041-0325-i0	99.8	0°	325 nm	HeCd
041-0343	99.5	45°	333-353 nm	Yb:KGW/KYW 3H
041-0343-i0	99.8	0°	333-353 nm	Yb:KGW/KYW 3H
041-0347	99.5	45°	347 nm	Ruby
041-0347-i0	99.8	0°	347 nm	Ruby
UVFS ; ø12.7 x 6 mm
041-0350	99.5	45°	351-361 nm	Nd:YAG 3H
041-0350-i0	99.8	0°	351-361 nm	Nd:YAG 3H
041-0400	99.5	45°	380-420 nm	Ti:Sa 2H
041-0400-i0	99.8	0°	380-420 nm	Ti:Sa 2H
041-0515	99.5	45°	500-530 nm	Yb:KGW/KYW 2H
041-0515-i0	99.8	0°	500-530 nm	Yb:KGW/KYW 2H
041-0530	99.5	45°	527-532 nm	Nd:YAG
041-0530-i0	99.8	0°	527-532 nm	Nd:YAG
041-0800	99.5	45°	760-840 nm	Ti:Sa 1H
041-0800-i0	99.8	0°	760-840 nm	Ti:Sa 1H
041-1030	99.5	45°	1000-1060 nm	Yb:KGW/KYW 1H
041-1030-i0	99.8	0°	1000-1060 nm	Yb:KGW/KYW 1H
i041-1060	99.5	45°	1047-1064 nm	Nd:YAG 1H
041-1060-i0	99.8	0°	1047-1064 nm	Nd:YAG 1H
041-0240T6	99.0	45°	244-248 nm	KrF
041-0240T6-i0	99.0	0°	244-248 nm	KrF
041-0260T6	99.0	45°	262-266 nm	Nd:YAG 4H
041-0260T6-i0	99.0	0°	262-266 nm	Nd:YAG 4H
041-0266T6	99.0	45°	257-275 nm	Ti:Sa 3H
041-0266T6-i0	99.0	0°	257-275 nm	Ti:Sa 3H
041-0300T6	99.2	45°	308 nm	XeCl
041-0300T6-i0	99.2	0°	308 nm	XeCl
041-0325T6	99.5	45°	325 nm	HeCd
041-0325T6-i0	99.8	0°	325 nm	HeCd
041-0343T6	99.5	45°	333-353 nm	Yb:KGW/KYW 3H
041-0343T6-i0	99.8	0°	333-353 nm	Yb:KGW/KYW 3H
041-0347T6	99.5	45°	347 nm	Ruby
041-0347T6-i0	99.8	0°	347 nm	Ruby
041-0350T6	99.5	45°	351-361 nm	Nd:YAG 3H
041-0350T6-i0	99.8	0°	351-361 nm	Nd:YAG 3H
041-0350T6HHR	99.9	45°	351-361 nm	Nd:YAG 3H
041-0350T6HHR-i0	99.9	0°	351-361 nm	Nd:YAG 3H
041-0400T6	99.5	45°	380-420 nm	Ti:Sa 2H
041-0400T6-i0	99.8	0°	380-420 nm	Ti:Sa 2H
041-0515T6	99.5	45°	500-530 nm	Yb:KGW/KYW 2H
041-0515T6-i0	99.8	0°	500-530 nm	Yb:KGW/KYW 2H
041-0530T6	99.5	45°	527-532 nm	Nd:YAG
041-0530T6-i0	99.8	0°	527-532 nm	Nd:YAG
041-0530T6HHR	99.9	45°	527-532 nm	Nd:YAG
041-0530T6HHR-i0	99.9	0°	527-532 nm	Nd:YAG
041-0800T6	99.5	45°	760-840 nm	Ti:Sa 1H
041-0800T6-i0	99.8	0°	760-840 nm	Ti:Sa 1H
041-0800T6HHR	99.9	45°	760-840 nm	Ti:Sa 1H
041-0800T6HHR-i0	99.9	0°	760-840 nm	Ti:Sa 1H
041-1030T6	99.5	45°	1000-1060 nm	Yb:KGW/KYW 1H
041-1030T6-i0	99.8	0°	1000-1060 nm	Yb:KGW/KYW 1H
041-1030T6HHR	99.9	45°	1000-1060 nm	Yb:KGW/KYW 1H
041-1030T6HHR-i0	99.9	0°	1000-1060 nm	Yb:KGW/KYW 1H
041-1060T6	99.5	45°	1047-1064 nm	Nd:YAG 1H
041-1060T6-i0	99.8	0°	1047-1064 nm	Nd:YAG 1H
041-1060T6HHR	99.9	45°	1047-1064 nm	Nd:YAG 1H
041-1060T6HHR-i0	99.9	0°	1047-1064 nm	Nd:YAG 1H
UVFS ; ø25.4x6 mm
042-0240	99.0	45°	244-248 nm	KrF
042-0240-i0	99.0	0°	244-248 nm	KrF
042-0260	99.0	45°	262-266 nm	Nd:YAG 4H
042-0260-i0	99.0	0°	262-266 nm	Nd:YAG 4H
042-0266	99.0	45°	257-275 nm	Ti:Sa 3H
042-0266-i0	99.0	0°	257-275 nm	Ti:Sa 3H
042-0300	99.2	45°	308 nm	XeCl
042-0300-i0	99.2	0°	308 nm	XeCl
042-0325	99.5	45°	325 nm	HeCd
042-0325-i0	99.8	0°	325 nm	HeCd
042-0343	99.5	45°	333-353 nm	Yb:KGW/KYW 3H
042-0343-i0	99.8	0°	333-353 nm	Yb:KGW/KYW 3H
042-0347	99.5	45°	347 nm	Ruby
042-0347-i0	99.8	0°	347 nm	Ruby
042-0350	99.5	45°	351-361 nm	Nd:YAG 3H
042-0350-i0	99.8	0°	351-361 nm	Nd:YAG 3H
042-0350HHR	99.9	45°	351-361 nm	Nd:YAG 3H
042-0350HHR-i0	99.9	0°	351-361 nm	Nd:YAG 3H
042-0400	99.5	45°	380-420 nm	Ti:Sa 2H
042-0400-i0	99.8	0°	380-420 nm	Ti:Sa 2H
042-0515	99.5	45°	500-530 nm	Yb:KGW/KYW 2H
042-0515-i0	99.8	0°	500-530 nm	Yb:KGW/KYW 2H
042-0530	99.5	45°	527-532 nm	Nd:YAG 2H
042-0530-i0	99.8	0°	527-532 nm	Nd:YAG 2H
042-0530HHR	99.9	45°	527-532 nm	Nd:YAG 2H
042-0530HHR-i0	99.9	0°	527-532 nm	Nd:YAG 2H
042-0800	99.5	45°	760-840 nm	Ti:Sa 1H
042-0800-i0	99.8	0°	760-840 nm	Ti:Sa 1H
042-0800HHR	99.9	45°	760-840 nm	Ti:Sa 1H
042-0800HHR-i0	99.9	0°	760-840 nm	Ti:Sa 1H
042-1030	99.5	45°	1000-1060 nm	Yb:KGW/KYW 1H
042-1030-i0	99.8	0°	1000-1060 nm	Yb:KGW/KYW 1H
042-1030HHR	99.9	45°	1000-1060 nm	Yb:KGW/KYW 1H
042-1030HHR-i0	99.9	0°	1000-1060 nm	Yb:KGW/KYW 1H
i042-1060	99.5	45°	1047-1064 nm	Nd:YAG 1H
042-1060-i0	99.8	0°	1047-1064 nm	Nd:YAG 1H
i042-1060HHR	99.9	45°	1047-1064 nm	Nd:YAG 1H
042-1060HHR-i0	99.9	0°	1047-1064 nm	Nd:YAG 1H
UVFS ; ø50.8x8 mm
045-0240	99.0	45°	244-248 nm	KrF
045-0240-i0	99.0	0°	244-248 nm	KrF
045-0260	99.0	45°	262-266 nm	Nd:YAG 4H
045-0260-i0	99.0	0°	262-266 nm	Nd:YAG 4H
045-0266	99.0	45°	257-275 nm	Ti:Sa 3H
045-0266-i0	99.0	0°	257-275 nm	Ti:Sa 3H
045-0300	99.2	45°	308 nm	XeCl
045-0300-i0	99.2	0°	308 nm	XeCl
045-0325	99.5	45°	325 nm	HeCd
045-0325-i0	99.8	0°	325 nm	HeCd
045-0343	99.5	45°	333-353 nm	Yb:KGW/KYW 3H
045-0343-i0	99.8	0°	333-353 nm	Yb:KGW/KYW 3H
045-0347	99.5	45°	347 nm	Ruby
045-0347-i0	99.8	0°	347 nm	Ruby
045-0350	99.5	45°	351-361 nm	Nd:YAG 3H
045-0350-i0	99.8	0°	351-361 nm	Nd:YAG 3H
045-0350T12HHR	99.9	45°	351-361 nm	Nd:YAG 3H
045-0350T12HHR-i0	99.9	0°	351-361 nm	Nd:YAG 3H
045-0400	99.5	45°	380-420 nm	Ti:Sa 2H
045-0400-i0	99.8	0°	380-420 nm	Ti:Sa 2H
045-0515	99.5	45°	500-530 nm	Yb:KGW/KYW 2H
045-0515-i0	99.8	0°	500-530 nm	Yb:KGW/KYW 2H
045-0530	99.5	45°	527-532 nm	Nd:YAG 2H
045-0530-i0	99.8	0°	527-532 nm	Nd:YAG 2H
045-0530T12HHR	99.9	45°	527-532 nm	Nd:YAG 2H
045-0530T12HHR-i0	99.9	0°	527-532 nm	Nd:YAG 2H
045-0800	99.5	45°	760-840 nm	Ti:Sa 1H
045-0800-i0	99.8	0°	760-840 nm	Ti:Sa 1H
045-0800T12HHR	99.9	45°	760-840 nm	Ti:Sa 1H
045-0800T12HHR-i0	99.9	0°	760-840 nm	Ti:Sa 1H
045-1030	99.5	45°	1000-1060 nm	Yb:KGW/KYW 1H
045-1030-i0	99.8	0°	1000-1060 nm	Yb:KGW/KYW 1H
045-1030T12HHR	99.9	45°	1000-1060 nm	Yb:KGW/KYW 1H
045-1030T12HHR-i0	99.9	0°	1000-1060 nm	Yb:KGW/KYW 1H
i045-1060	99.5	45°	1047-1064 nm	Nd:YAG 1H
045-1060-i0	99.8	0°	1047-1064 nm	Nd:YAG 1H
045-1060T12HHR	99.9	45°	1047-1064 nm	Nd:YAG 1H
045-1060T12HHR-i0	99.9	0°	1047-1064 nm	Nd:YAG 1H
UVFS ; ø76.2x12.7 mm
047-0266	99.0	45°	257-275 nm	Ti:Sa 3H
047-0266-i0	99.0	0°	257-275 nm	Ti:Sa 3H
047-0343	99.5	45°	333-353 nm	Yb:KGW/KYW 3H
047-0343-i0	99.8	0°	333-353 nm	Yb:KGW/KYW 3H
047-0350	99.5	45°	351-361 nm	Nd:YAG 3H
047-0350-i0	99.8	0°	351-361 nm	Nd:YAG 3H
047-0400	99.5	45°	380-420 nm	Ti:Sa 2H
047-0400-i0	99.8	0°	380-420 nm	Ti:Sa 2H
047-0515	99.5	45°	500-530 nm	Yb:KGW/KYW 2H
047-0515-i0	99.8	0°	500-530 nm	Yb:KGW/KYW 2H
047-0530	99.5	45°	527-532 nm	Nd:YAG 2H
047-0530-i0	99.8	0°	527-532 nm	Nd:YAG 2H
047-0800	99.5	45°	760-840 nm	Ti:Sa 1H
047-0800-i0	99.8	0°	760-840 nm	Ti:Sa 1H
047-1030	99.5	45°	1000-1060 nm	Yb:KGW/KYW 1H
047-1030-i0	99.8	0°	1000-1060 nm	Yb:KGW/KYW 1H
047-1060	99.5	45°	1047-1064 nm	Nd:YAG 1H
047-1060-i0	99.8	0°	1047-1064 nm	Nd:YAG 1H

■ 仕様

基板
材質	UV溶融石英
S1 表面平坦度	λ/10 (typical, @633 nm)
S1 表面精度	20-10 scratch & dig (MIL-PRF-13830B)
S2 表面精度	Commercial polish
直径公差	+ 0.00 mm, - 0.12 mm
厚み公差	± 0.25 mm
ウェッジ	< 3 minutes
面取り	0.3 mm @ 45° (typical)

コーティング
テクノロジー	電子ビーム多層誘電体またはイオンビームスパッタリング
接着性・耐久性	MIL-C-675Aに基づく。研究室溶剤に不溶
開口部	直径の中央85％以上
ダメージ閾値	6 J/cm², 8 nsec パルス, 1064 nm (typical)
コーティング表面平坦度	λ/10 @ 633 nm (開口部全体)
入射角	0° または 45°

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